REFERANS DEBTI1910/24-1
TÜR AB BTB
GTİP 9031.49.90
KISA TANIM Optik ölçüm modülü.
TANIM OPTIK ÖLÇÜM MODÜLÜ, ESASEN OPTIK SISTEMLI BIR MAHFAZA, BIR INGAS FOTODIYOT, BIR BANT GEÇIREN FILTRE, BIR OPTIK BOŞLUK, DOLDURULMUŞ BIR DEVRE KARTI VE MIKNATISLI BIR MEKANIK BAĞLANTI CIHAZINDAN OLUŞUR. MODÜL, LEVHA ÜRETIMINE YÖNELIK LITOGRAFI SISTEMININ BIR PARÇASIDIR (BU BTI KARARININ KONUSU DEĞILDIR). BIR VAKUM ODASINDA SÜREKLI OLARAK IÇINE FIRLATILAN KALAY DAMLACIKLARINI TESPIT ETMEK IÇIN KULLANILIR. DAMLACIKLAR DÜZENLI ARALIKLARLA LAZER IŞIĞIYLA IŞINLANIR. MODÜL, DAMLACIKLARIN ZAMANSAL SIRASINI ÖLÇMEK IÇIN DAMLACIKLARIN YANSITTIĞI IŞIĞI KAYDEDER. SONUÇ, DAHA ÜST DÜZEY BIR SISTEME ELEKTRIK SINYALI OLARAK GÖNDERILIR (BU BTI KARARININ KONUSU DEĞILDIR). EŞYA, "(CN) 9031 1000 ILA 9031 4910 ALT POZISYONLARI KAPSAMINDA OLANLAR HARIÇ, 90. FASILIN BAŞKA BIR YERINDE BELIRTILMEYEN VEYA YER ALMAYAN ÖLÇME VEYA TEST ETMEYE YÖNELIK OPTIK CIHAZLAR" OLARAK SINIFLANDIRILIR.
BAŞLANGIÇ TARİHİ 27.05.2024
BİTİŞ TARİHİ 26.05.2027
YABANCI TANIM OPTISCHES MESSMODUL, IM WESENTLICHEN BESTEHEND AUS EINEM GEHÄUSE MIT EINEM OPTISCHEN SYSTEM, EINER INGAS-FOTODIODE, EINEM BANDPASSFILTER, EINEM OPTISCHEN SPALT, EINER BESTÜCKTEN LEITERPLATTE UND EINER MECHANISCHEN ANSCHLUSSVORRICHTUNG MIT EINEM MAGNETEN. DAS MODUL IST BESTANDTEIL EINER LITHOGRAFIEANLAGE FÜR DIE WAFERPRODUKTION (NICHT GEGENSTAND DIESER VZTA-ENTSCHEIDUNG). ES WIRD DAZU VERWENDET, ZINNTRÖPFCHEN IN EINER VAKUUMKAMMER ZU DETEKTIEREN, WELCHE FORTLAUFEND IN DIESE GESCHOSSEN WERDEN. DIE TRÖPFCHEN WERDEN IN REGELMÄßIGEN ABSTÄNDEN MIT LASERLICHT BESTRAHLT. DAS MODUL ERFASST DABEI DAS VON DEN TRÖPFCHEN REFLEKTIERTE LICHT, UM SO DIE ZEITLICHE ABFOLGE DER TRÖPFCHEN ZU MESSEN. DAS ERGEBNIS WIRD ALS ELEKTRISCHES SIGNAL AN EIN ÜBERGEORDNETES SYSTEM (NICHT GEGENSTAND DIESER VZTA-ENTSCHEIDUNG) GESENDET. DIE WARE WIRD ALS "OPTISCHES GERÄT ZUM MESSEN ODER PRÜFEN, IN KAPITEL 90 ANDERWEIT WEDER GENANNT NOCH INBEGRIFFEN, ANDERES ALS VON DEN UNTERPOSITIONEN (KN) 9031 1000 BIS 9031 4910 ERFASST" EINGEREIHT.
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