| REFERANS | ATBTI2025000204-DEC |
|---|---|
| TÜR | AB BTB |
| GTİP | 8486.40.00 |
| KISA TANIM | Yarı iletken maske yazma platformu. |
| TANIM | YARI ILETKEN ÜRETIMI IÇIN BIR MASKE YAZICISININ MONTE EDILDIĞI BIR PLATFORMDAN OLUŞAN, TAMAMLANMAMIŞ BIR ELEKTRON IŞINI LITOGRAFI CIHAZI. TÜM BILEŞENLERIYLE BIRLIKTE BU PLATFORM, BASKI SONRASI MASKELERI (KROM KATMANLI VE ELEKTRONA DUYARLI KATMANLI 15 X 15 CM CAM LEVHALAR) VE BOŞLUKLARI YERLEŞTIRMEK, KONUMLANDIRMAK VE ÇIKARMAK IÇIN KULLANILIR. RAFLARDAKI ELEKTRONIK AKSAMLAR TARAFINDAN KONTROL EDILEN AKTÜATÖRLER VE SENSÖRLER IÇERIR. ANA PLATFORMA BAĞLANTILAR GÜÇ (SINYAL VE GÜÇ), SU, GAZ VE VAKUMDAN OLUŞUR. HER BIR BILEŞEN MERKEZI BIR BILGISAYAR MERKEZI TARAFINDAN KONTROL EDILIR. TÜM BILEŞENLER BIRBIRINE KABLOLAR VE TELLER (FONKSIYONEL ÜNITE) ILE BAĞLIDIR. (BILGILER ŞIRKET TARAFINDAN SAĞLANMIŞTIR.) |
| BAŞLANGIÇ TARİHİ | 15.07.2025 |
| BİTİŞ TARİHİ | 14.07.2028 |
| YABANCI TANIM | UNFERTIGES GERÄT ZUR ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAFIE, IM WESENTLICHEN BESTEHEND AUS EINER PLATTFORM, AUF DER EIN MASKENSCHREIBER FÜR DIE HALBLEITERPRODUKTION MONTIERT IST. DIESE PLATTFORM DIENT MIT ALLEN KOMPONENTEN DAZU, MASKEN (DAS SIND 15 X 15 CM GROßE GLASSCHEIBEN, AUF DER SICH EINE CHROMSCHICHT UND EINE ELEKTRONENSENSITIVE SCHICHT BEFINDEN) UND ROHLINGE EINZUBRINGEN, ZU POSITIONIEREN UND NACH DER BESCHREIBUNG WIEDER AUSZUGEBEN; SIE BEINHALTET AKTUATOREN UND SENSOREN, WELCHE DURCH DIE ELEKTRONIK IN DEN SOG. RACKS ANGESTEUERT/GEREGELT WERDEN. DIE VERBINDUNGEN MIT DER HAUPTPLATTFORM BESTEHEN AUS STROM (SIGNAL UND STROM), WASSER, GAS UND VAKUUM. GESTEUERT WERDEN DIE EINZELKOMPONENTEN DURCH EINE ZENTRALE RECHENSTELLE. ALLE BESTANDTEILE SIND DURCH KABEL UND LEITUNGEN MITEINANDER VERBUNDEN (FUNKTIONELLE EINHEIT). (ANGABEN LAUT UNTERNEHMEN) |
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