| REFERANS | DEBTI40358/25-1 |
|---|---|
| TÜR | AB BTB |
| GTİP | 8486.20.00 |
| KISA TANIM | Yarı iletken ince katman ayırma sistemi. |
| TANIM | ATOMIK KATMAN AYIRMA SISTEMI (RESME BAKINIZ) - ENTEGRE EKRAN VE KONTROLLERE SAHIP DIKDÖRTGEN BIR GÖVDEDEN OLUŞAN MODÜLER BIR SISTEM ŞEKLINDE, AKIŞ OPTIMIZASYONLU ÇAPRAZ AKIŞLI AYIRMA ODASI, ÖNCÜL MADDELER IÇEREN ŞIŞELER, ORGANOMETALIK KAYNAKLAR, METAL SIZDIRMAZ NOKTA KAYNAKLARINA SAHIP SICAK DUVARLI AYIRMA ODASI, SUBSTRAT TUTUCU, OTOMATIK AKIŞ KONTROL FONKSIYONU, ÜÇ YOLLU DARBE VALFLERI, PASLANMAZ ÇELIK BORULAR, DÜŞÜK BASINÇLI SIVILAR IÇIN ISITMA SISTEMI, PASLANMAZ ÇELIK SILINDIRLER, METAL SIZDIRMAZ GAZ AKIŞ SISTEMI, CHUCK VEYA PLAKALI REAKSIYON ODASI, OZON JENERATÖRÜ, PARTIKÜL KAPLAMA CIHAZI, FERROFLUID, VAKUM UYUMLU HAREKET BESLEMESI, AĞ FILTRE, ÜST VALF DÜZENEĞI VE ALT GIRIŞ IÇIN ISITMA CEKETI, INERT GAZLAR, VAKUM VEYA YIKAMA SISTEMI, AYRICA REAKTANLAR VE KARŞI REAKTANLAR, - ÇEŞITLI TASARIMLARDA (MÜŞTERININ TESISINE VE ÜRETIM SÜRECINE BAĞLI OLARAK), - YARI ILETKEN ÜRETIMINDE INCE KATMANLARI GAZ FAZINDAN AYIRMAK IÇIN TASARLANMIŞTIR, - KIMYASAL GAZ FAZI AYIRMA (CVD) YOLUYLA YARI ILETKEN BILEŞENLERIN ÜRETIMINDE PROTOTIPLERIN (GOFRETLERDEN DAHA KÜÇÜK) BIRIKTIRILMESI IÇIN KULLANILIR. "YARI ILETKEN KÜLLER, YARI ILETKEN GOFRETLER VEYA YARI ILETKEN BILEŞENLER, ELEKTRONIK ENTEGRE DEVRELER VEYA DÜZ EKRANLARIN ÜRETIMI IÇIN ÖZEL OLARAK VEYA BIRINCIL OLARAK KULLANILAN TIPTEKI MAKINELER, CIHAZLAR VE DÜZEYLER, 8486 1000 00 0 KOD NUMARALI MALLAR OLMAYAN, YARI ILETKEN BILEŞEN ÜRETIM CIHAZLARI - NÜKLEER ÇÖZÜNME TESISI" |
| BAŞLANGIÇ TARİHİ | 10.11.2025 |
| BİTİŞ TARİHİ | 9.11.2028 |
| YABANCI TANIM | ATOMLAGENABSCHEIDUNGSANLAGE (ABBILDUNG SIEHE ANLAGE) - IN FORM EINES MODULAR AUFGEBAUTEN ANLAGENSYSTEMS AUS EINEM RECHTECKIGEN GEHÄUSE MIT INTEGRIERTEM DISPLAY UND BEDIENELEMENTEN, STRÖMUNGSOPTIMIERTER QUERSTROM-ABSCHEIDUNGS- KAMMER, FLASCHEN MIT VORLÄUFERSUBSTANZEN, ORGANOMETALLISCHEN QUELLEN, HEIßWAND- ABSCHEIDUNGSKAMMER MIT METALLVERSIEGELTEN PUNKTQUELLEN, SUBSTRATHALTER, AUTOMATISCHER FLUSSKONTROLLFUNKTION, DREIWEGE-PULSVENTILEN, EDELSTAHLROHREN, ERHITZUNGSSYSTEM FÜR FLÜSSIGKEITEN MIT NIEDRIGEM DAMPFDRUCK, ZYLINDERN AUS EDELSTAHL, METALLVERSIEGELTEM GASFLUSSSYSTEM, REAKTIONSKAMMER MIT SPANNFUTTER ODER PLATTE, OZONGENERATOR, PARTIKEL- BESCHICHTUNGS-VORRICHTUNG, FERROFLUIDER, VAKUUMKOMPATIBLER BEWEGUNGSDURCHFÜHRUNG, NETZFILTER, HEIZMANTEL FÜR OBERE VENTILBAUGRUPPE UND UNTEREM VORLÄUFER, INERTGASEN, VAKUUMSYSTEM ODER SPÜLSYSTEM SOWIE REAKTANTEN UND GEGENREAKTANTEN, - IN UNTERSCHIEDLICHEN AUSFÜHRUNGEN (JE NACH KUNDENSEITIGER ANLAGE UND FERTIGUNGVERFAHREN), - KONZIPIERT ZUR ABSCHEIDUNG DÜNNER SCHICHTEN AUS DER GASPHASE IN DER HALBLEITERFERTIGUNG, - DIENT ZUM AUFBRINGEN VON PROTOTYPEN (KLEINER ALS WAFER) BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN MITTELS CHEMISCHER GASPHASENABSCHEIDUNG (CVD). "MASCHINEN, APPARATE UND GERÄTE VON DER AUSSCHLIEßLICH ODER HAUPTSÄCHLICH ZUM HER- STELLEN VON HALBLEITERBARREN (BOULES), HALBLEITERSCHEIBEN (WAFERS) ODER HALBLEITERBAU- ELEMENTEN, ELEKTRONISCHEN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN ODER FLACHBILDSCHIRMEN VERWENDE- TEN ART, KEINE WARE DER CODENUMMER 8486 1000 00 0, APPARAT ZUM HERSTELLEN VON HALB- LEITERBAUELEMENTEN - ATOMLAGENABSCHEIDUNGSANLAGE" |
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